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我单位电镜室2005年同时购进日本日立公司S-4700型冷场发射扫描电子显微镜和美国FEI公司Tecnai G20透射电子显微镜,至今已使用6年多。本文主要介绍日立S-4700型冷场发射扫描电子显微镜和FEITecnai G20透射电子显微镜最近出现的故障的检测和排除方法,以及电镜日常维护的一些体会,以供参考。