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Entegris近日推出了Purasol^TM，这是一款首创的溶剂纯化器，可去除超净化学品制造工艺所用有机溶剂中发现的各种金属微污染物。这款新型多功能纯化器采用独特的定制薄膜技术，可以有效地去除各种超纯、极性和非极性溶剂中的溶解性和胶状金属污染物。
Entegris推出全面去除金属离子的Purasol^TM溶剂纯化器
【摘 要】
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Entegris近日推出了Purasol^TM，这是一款首创的溶剂纯化器，可去除超净化学品制造工艺所用有机溶剂中发现的各种金属微污染物。这款新型多功能纯化器采用独特的定制薄膜技术，可以
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2017年4期
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