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利用激光分子束外延方法（LMBE）在单晶Si（100）和玻璃基片上生长了ZnO薄膜。通过XRD谱、拉曼光谱和光致发光（PL）谱研究了ZnO薄膜的结构和光学性能。结果表明，ZnO薄膜具有六方纤锌矿结构，（002）衍射峰较强，C轴择优取向良好。在可见光范围，ZnO薄膜的平均透射率〉80％，而在紫外范围，平均透射率急剧降低。拟舍得到ZnO薄膜的禁带宽度为3．31eV。随激发波长增加，PL谱峰位没有变化，但强度发生了变化。同时，随测量温度升高，紫外发光峰强度减弱，峰位红移，半高宽展宽。理论拟舍得到ZnO薄膜的活化