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用溶胶-凝胶法在导电的Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了一种1μm厚的新型钽酸锂薄膜；采用直流电压对新制备的薄膜进行了极化；选择了电荷积分法，设计了与钽酸锂薄膜阻抗匹配的测试电路，组建了新的水浴搅拌加热的热释电系数测试系统，完成了薄膜的热释电系数测试。测试结果表明，钽酸锂薄膜有较好的热释电特性，在6V、15min极化条件下，测得热释电系数为122．8μC／m^2K，测试精度为1．14％，说明新开发的测试系统对新材料热释电系数测试具有重要的实用价值。实验误差分析表明，采用适合的搅拌速度和加热功率、采用更