论文部分内容阅读
采用射频（RF）磁控溅射技术制备了用于全固态薄膜锂电池的非品态和多品LiCoO2阴极薄膜，利用XRD和SEM研究了沉积温度对LiCoO2薄膜结构和形貌的影响，并研究了高温退火后薄膜的电化学性能。研究结果表明，随着基片温度的不同，薄膜成分、表面形貌以及电化学行为有明显差异。室温沉积的薄膜很难消除薄膜中LiCoO2的影响，经过高温退火处理后也无法形成有效的多品LiCoO2薄膜，而150℃沉积的薄膜经过高温退火后形成了有利于锂离子嵌入的多晶LiCoO2结构，薄膜显示出了较好的电化学性能。