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利用电化学沉积法在铜铟镓砸薄膜太阳能电池表面沉积一层ZnO纳米结构阵列减反射层。通过对沉积电位的操控,实现了对该纳米结构减反射层形貌、光学质量、反射率等特性的优化。在电池表面蒸镀电极后测试电池的电流电压曲线可知,相比于没有减反层的电池,沉积了纳米结构减反射层的电池利用氧化锌纳米结构的亚波长尺寸形成的蛾眼效应有效降低了表面光反射,增加光吸收,从而实现短路电流增加6.2%,电池效率提高了9.9%。