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研究了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法技术制备的超微粒子复合薄膜的电学性质及气敏性质，并对其作用机理进行了分析解释。
电场对SnO2／ZnO UPF的电性质及气敏性质的影响
【摘 要】
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研究了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法技术制备的超微粒子复合薄膜的电学性质及气敏性质，并对其作用机理进行了分析解释。
【机 构】
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淮北煤炭师范学院物理系,华东理工大学物理系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1997年1期
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