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介绍了两种激光外差干涉信号的处理方法－锁相频率解调法及组合频率解调法。此方法适用于需要实时反馈控制以及定位曝光等场合。用此方法，可以使干涉仪的测量分辨力分别达到３ｎｍ和０．５ｎｍ，干涉仪测量棱镜的允许运动速度达到３ｍｍ／ｓ。
激光外差干涉信号处理技术的研究
【摘 要】
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介绍了两种激光外差干涉信号的处理方法－锁相频率解调法及组合频率解调法。此方法适用于需要实时反馈控制以及定位曝光等场合。用此方法，可以使干涉仪的测量分辨力分别达到３ｎｍ和０．５ｎｍ，干
【机 构】
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中国矿业大学北京研究生部
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1998年4期
【基金项目】
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博士后基金,清华大学精密计量与测试国家重点实验室开放基金,教委博士点基金
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