【摘 要】
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本文利用准分子激光ＣＶＤ技术以液态ＳｎＣｌ４和氧气为源制出了半径４５μｍ的ＳｎＯ２薄膜微透镜及微透镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。
In this paper, the S
【机 构】
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吉林大学电子工程系，集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区
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本文利用准分子激光ＣＶＤ技术以液态ＳｎＣｌ４和氧气为源制出了半径４５μｍ的ＳｎＯ２薄膜微透镜及微透镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。
In this paper, the SnO2 thin film microlens and microlens array with a radius of 45μm were fabricated by using excimer laser CVD technology with liquid SnCl4 and oxygen as the source. Based on the reaction mechanism and growth pattern, the characteristics and prospects of this growth technique are described.
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