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随着无线电通讯和集成光电路的迅速发展，在很多电子设备上都要求有独立的高性能微型电源。薄膜锂电池作为一种重要的微型能源形式，正在受到越来越多的关注和研究。概述了国际上目前制备薄膜锂电池的阴极膜、阳极膜和电解质膜过程中所采用的各种工艺手段，从工作原理、采用的材料与设备、得到的膜的物理化学性能等各个方面对这些工艺方法进行了分析、比较及评价。