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期望用类金刚石膜作为硅的红外保护／增透膜，采用波长为800nm，脉宽50fs，重复频率1KHz的Ti：Sapphire飞秒激光器及石墨靶材在单晶Si片上沉积了约0．7μm～1μm厚的类金刚石膜（diamond—like carbon films，DLC），获得了光滑致密，硬度显著提高，红外透过率有一定增加的样品。通过对薄膜拉曼光谱和X射线光电子能谱等的测试，发现单脉冲能量在0．4mJ-1．6mJ范围内变动时，单脉冲能量0．8mJ获得的类金刚石膜综合性能最佳，其对应的焦斑功率密度计算值为1．4×1