【摘 要】
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<正>一、引言超净的气体输送管道系统,是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统,广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产、PDF显示器面板生产等微电
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<正>一、引言超净的气体输送管道系统,是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统,广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产、PDF显示器面板生产等微电子领域,该系统输送的气体主要有高纯大宗气体(高纯氧、高纯氩、高纯氦、高纯氢等气体)、特气(硅烷、磷烷、砷烷、氯化氢、氯气等工艺气体),以上气体在下文中简称"超净气体"。随着微电子工业的不断发展,特别是超大规模集成电路制造的晶圆尺
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