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介绍了几种用溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的工艺方法,用其中一种无机的方法成功制备了ITO透明导电膜.当薄膜厚度为300 nm左右时,所得ITO薄膜在可见光区域内的平均透过率在85%以上,电阻率最低可达0.15 Ω·cm.
ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备
【摘 要】
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介绍了几种用溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的工艺方法,用其中一种无机的方法成功制备了ITO透明导电膜.当薄膜厚度为300 nm左右时,所得ITO薄膜在可见光区域内的平均透过率在85%以上
【机 构】
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电子科技大学光电信息学院
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2004年4期
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