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叙述用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作.简述离子束溅射镀膜机的工作原理 ,X射线多层膜的制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果.
制备长波段X射线多层膜的新方法
【摘 要】
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叙述用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作.简述离子束溅射镀膜机的工作原理 ,X射线多层膜的制备过程,主要工艺参数,以及
【机 构】
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中科院上海技术物理研究所光电中心,中科院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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2001年6期
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