X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zengqz

【摘要】

：

射频微机械(RF MEMS)开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景.但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上,对开关的

【作者】

：

郑惟彬黄庆安廖小平李拂晓

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

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2003年z1期

【关键词】

：

微机械膜开关阻抗匹配插入损耗隔离度 MEMS membrane switches impedance matching insertion loss is

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射频微机械(RF MEMS)开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景.但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上,对开关的电磁特性的研究,尤其是开关高频阻抗匹配分析的研究与验证比较少.本文在高频传输线研究的基础上,推导出微机械开关的"开态"阻抗匹配模型,并利用HFSS软件对开关的高频特性进行模拟.其结果有助于设计高性能的RF MEMS开关.

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