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根据三星半导体有限公司闪存芯片项目生产废水的水质水量特点,采用"分质预处理-混凝-水解酸化-IC厌氧反应器-A/O-MBR-芬顿氧化-混凝"新型组合工艺进行处理,详细介绍了分质预处理和深度处理阶段的工艺设计、工艺流程和主要构筑物的设计参数。运行结果表明,该组合工艺处理效果稳定,最终出水水质均远优于设计排放标准。