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介绍了一种基于红外光谱吸收法的SF6浓度传感器,采用双光束差分式光学通路设计以消除环境干扰的影响,利用反射镜增加光程,以提高被测气体对光谱的吸收作用。传感器测量范围为0~1000ppm。经过试验数据分析并对传感器测值进行温湿度补偿,经测定,补偿后的传感器在量程范围内的测值误差不超过±0.3ppm。