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基于PC机控制的电子束图形控制器

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jsrlzxd111

【摘 要】

：

介绍了新研制的以PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节.

【作 者】

：

张玉林 张玲 

【机 构】

：

山东大学南区

【出 处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

电子束曝光机 图形发生器 计算机控制 electron?beam lithography machine pattern generator computer 

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介绍了新研制的以PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节.

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