用平行板剪切干涉仪测量焦距

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本文讨论了用平板剪切干涉仪测量焦距的原理,平板平行差对测量结果的影响;被测物镜有初级象散时确定焦点位置的方法,并给出了测量结果。 In this paper, the principle of measuring the focal length by the flat shear interferometer and the influence of the parallel difference of the flat plates on the measurement results are discussed. The method of determining the focal position when the objective lens has primary astigmatism is discussed and the measurement results are given.
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