【摘 要】
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缺陷监控是半导体制造中考量产品表现以及工艺风险的关键一环,随着工厂产量的不断增长,机台的不断增多,对于快速侦测出问题机台,并及时采取措施变得越来越重要。该文提出了一
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（天津）有限公司
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缺陷监控是半导体制造中考量产品表现以及工艺风险的关键一环,随着工厂产量的不断增长,机台的不断增多,对于快速侦测出问题机台,并及时采取措施变得越来越重要。该文提出了一种针对缺陷监控的智能取样派工方案,它通过四个模块实现对监控取样率的自动实时调整,实现对晶圆优先级的合理排序,同时对缺陷结果的分析来优化扫描方法,并能及时调整机台派工排货比例。这种智能方案通过不断自动调节能够更快速的侦测到工艺的异常,提升缺陷监控效率,从而更有效的改善工艺表现。
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