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根据水平臂三坐标测量机的结构特点,提出了非刚体三坐标测量机的误差补偿技术。在刚体误差补偿模型的基础上引入附加函数项,通过对测量机的横梁和立柱的详细研究,研究包括横梁和立柱的结构分析,受力分析及误差分析,推导出附加函数的回归方程。从而得到非刚体模型三坐标测量机的误差补偿理论公式。最后利用激光干涉仪对补偿结果进行检验,补偿结果证明非刚体误差补偿技术能有效的提高测量机的精度。