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微机电系统被普遍认为是一项面向２１世纪的可以广泛应用的新兴技术，作为其应用的微型仪器，具有传统仪器无可比似的优势。从微型仪器入手，分别介绍了其概念，特点和市场应用，并在最后阐述了对微型仪器的几点认识。
微机电系统技术的实际应用-微型仪器
【摘 要】
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微机电系统被普遍认为是一项面向２１世纪的可以广泛应用的新兴技术，作为其应用的微型仪器，具有传统仪器无可比似的优势。从微型仪器入手，分别介绍了其概念，特点和市场应用，并在最后阐
【机 构】
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总装备总
【出 处】
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国防科技大学学报
【发表日期】
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2000年2期
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