【摘 要】
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针对非硅微机电系统自动化、柔性、高精度、高效的装配特点,提出并实现了一种基于金属氧化物半导体（CMOS）、现场可编程门阵列（FPGA）及数字信号处理器（DSP）的显微视觉系统设计方法.
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针对非硅微机电系统自动化、柔性、高精度、高效的装配特点,提出并实现了一种基于金属氧化物半导体（CMOS）、现场可编程门阵列（FPGA）及数字信号处理器（DSP）的显微视觉系统设计方法.该方法兼顾了模块化、柔性与可重配置、高检测精度及速度等系统主要指标,实现了结构模块化、功能可重配置、具有非常高的检测精度及速度的显微视觉系统.通过实验分析了系统的物理分辨率以及对测量精度进行了标定,验证了系统的设计技术指标.结果表明：系统对非硅MEMS器件的最高测量精度可达0.6μm,检测时间小于0.65s,不仅满足了现有微
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