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对铝纳米梁进行了力学和电学特性测试．力学测试结果表明，铝纳米梁处于弹性形变区，具有张应力、电学测试结果表明，纳米梁电阻随着扫描次数增加而增加．通过分析电学实验结果可知，扫描次数增加使纳米梁发生塑性形变，并使纳米梁上张应力减小．研究结果表明，纳米梁电阻随着纳米梁张应力增大而减小．
铝纳米梁的电学特性测试
【摘 要】
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对铝纳米梁进行了力学和电学特性测试．力学测试结果表明，铝纳米梁处于弹性形变区，具有张应力、电学测试结果表明，纳米梁电阻随着扫描次数增加而增加．通过分析电学实验结果可知，扫描
【机 构】
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北京大学微电子学研究院
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2008年1期
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