【摘 要】
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越来越多的研究发现,在半导体圆片加工净化厂房中,除了存在空气悬浮颗粒沾污外,还存在以气相或蒸汽形式存在的分子污染物（Airborne Molecular Contaminants,AMC）。随着特征尺寸
【机 构】
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华润上华半导体有限公司,中国电子科技集团公司第58研究所
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越来越多的研究发现,在半导体圆片加工净化厂房中,除了存在空气悬浮颗粒沾污外,还存在以气相或蒸汽形式存在的分子污染物（Airborne Molecular Contaminants,AMC）。随着特征尺寸（CD）的不断缩小,AMC将会越来越严重地影响圆片加工质量和成品率,并会影响净化厂房内工作人员的身体健康。文章介绍了AMC的分类、来源、危害性、控制标准和方法,希望以此引起人们对AMC的重视,并采取相应的控制措施。
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