大尺寸石英玻璃光学均匀性的测量

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本文介绍了用激光干涉仪测量光学均匀性的主要方法,及测量大尺寸石英玻璃的光学均匀性时玻璃表面面形误差对光学均匀性测量精度的影响。
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