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SiGe技术和SOI技术将是21世纪硅集成的重要技术,它们相互补充,改善晶体管的速度和性能.本文介绍了SiGe技术、器件和应用.
SiGe技术、器件及其应用
【摘 要】
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SiGe技术和SOI技术将是21世纪硅集成的重要技术,它们相互补充,改善晶体管的速度和性能.本文介绍了SiGe技术、器件和应用.
【机 构】
：
无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
：
电子与封装
【发表日期】
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2004年6期
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