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对国内外有关微机械可变电容的研究做了综合阐述,包括改变介质的可变电容、改变重叠面积的可变电容和改变间隔的可变电容.并对其中有代表性的电容结构进行了说明,对其获得的零偏压下的电容量值、Q值以及调节范围进行了比较.
射频微机械可变电容的研究与进展
【摘 要】
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对国内外有关微机械可变电容的研究做了综合阐述,包括改变介质的可变电容、改变重叠面积的可变电容和改变间隔的可变电容.并对其中有代表性的电容结构进行了说明,对其获得的
【机 构】
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河北工业大学信息工程学院,石家庄信息工程职业学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年5期
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