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介绍了一种新的“分离三室水平推挤式多片外延舟”，可在国产水平外延炉中实现多片单晶薄膜外延。同时，研究了适合于多片外延的各种工艺条件。用于研制的ｐ＋－ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ｐ－ｎ－ｎ＋－ＧａＡｓ太阳能电池，ＡＭ０，２５℃，１２０ｍＷ·ｃｍ－２的转换效率达到１９．８％。
多片LPE生长AlxGa1-xAs/GaAs单晶薄膜
【摘 要】
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介绍了一种新的“分离三室水平推挤式多片外延舟”，可在国产水平外延炉中实现多片单晶薄膜外延。同时，研究了适合于多片外延的各种工艺条件。用于研制的ｐ＋－ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ｐ－ｎ－ｎ＋－ＧａＡｓ太阳能电池，ＡＭ０，２５℃，１２０ｍＷ·ｃｍ－２的转换效
【机 构】
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云南师范大学;
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1998年05期
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