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比较各种微细阵列孔的电火花加工方法，分析了单电极加工微细阵列孔方法的优点。以去离子水作为工作液，在已研制成功的微喷部件阵列孔电火花加工机床上进行单电极加工微细阵列孔的工艺试验，研究电源参数对微细阵列孔的孔径一致性、加工效率及电极损耗的影响规律。优化微细阵列孔加工的电参数，实现稳定的一次性加工256个直径小于50μm、偏差小于2μm的微细阵列孔。