微等离子体氧化法TiO2、TiO2(W)薄膜的制备及性能

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【摘要】

：

利用微等离子体氧化方法,在纯Ti金属表面制备TiO2、TiO2(W)薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)初步研究了薄膜的组织结构和表面形貌.在不同的条件下,得到3种不同类型结

【作者】

：

高玉周张世锋王亮严立

【机构】

：

大连海事大学

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2004年z1期

【关键词】

：

锐钛型金红石微等离子体氧化薄膜

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利用微等离子体氧化方法,在纯Ti金属表面制备TiO2、TiO2(W)薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)初步研究了薄膜的组织结构和表面形貌.在不同的条件下,得到3种不同类型结构组成的薄膜:单一TiO2的锐钛型结构、单一TiO2金红石结构及TiO2(W)薄膜;同时对薄膜的催化特性进行了初步的研究.

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