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本发明是对射频法生产石墨碳纤维专用高频加热装置的改进。所改进的方案中将射频耦合器从横截面为圆形套管式结构改为扁圆形套筒式结构,并加大了耦合腔径向几何尺寸,使得同时可平行放置2个以上的石英管式反应器,使聚焦后的电磁场转化为平面状,从而为实现一腔多束的加工工艺,提高单机产量为产业化生产降低成本打下装备基础。