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设计、研制了集成有微泵、微沟道、微流量传感器、温度传感器的微流体测控芯片．采用有限元软件ANSYS模拟分析了将其作为冷却芯片时微沟道的散热作用，分析确定了芯片上各元件的结构．该集成芯片为硅-玻璃结构，在硅片上，利用ICP法刻蚀无阀微泵泵体和微沟道；在7740玻璃片上，以溅射、剥离法制作微流量和温度传感器；图形精确对准后硅／玻璃以静电键合方法封接．无阀微泵采用压电元件驱动．测试结果表明：集成芯片具有冷却功能，循环水的流速最大可达25．4mm／s．