【摘 要】
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为了提高碳化硅反射镜的光学性能，满足空间光学元器件对碳化硅材料的要求，对碳化硅反射镜表面改性光学性能和表面粗糙度进行了研究。对碳化硅反射镜表面质量和光学性能进行了分析，探讨了对碳化硅反射镜进行表面改性的必要性和改性层材料的选择。阐述了碳化硅反射镜改性后表面质量和光学性能的提高。进行了附着力和温度冲击实验。结果表明：改性后，其可见光波段表面散射率由大于9.3%降低到小于0.5%，反射率由小于88.5%提高到大于98%，大幅度提高了碳化硅反射镜的光学性能，证明碳化硅表面改性反射镜可以满足空间光学元器件的要求。
【机 构】
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中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033
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为了提高碳化硅反射镜的光学性能，满足空间光学元器件对碳化硅材料的要求，对碳化硅反射镜表面改性光学性能和表面粗糙度进行了研究。对碳化硅反射镜表面质量和光学性能进行了分析，探讨了对碳化硅反射镜进行表面改性的必要性和改性层材料的选择。阐述了碳化硅反射镜改性后表面质量和光学性能的提高。进行了附着力和温度冲击实验。结果表明：改性后，其可见光波段表面散射率由大于9.3%降低到小于0.5%，反射率由小于88.5%提高到大于98%，大幅度提高了碳化硅反射镜的光学性能，证明碳化硅表面改性反射镜可以满足空间光学元器件的要求。
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