【摘 要】
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利用量子化学的密度泛函理论,对MOVPE生长A1N的气相反应路径进行理论计算和分析,特别针对氨基物DMA1NH2形成后的多聚反应、多聚物消去甲烷反应、以及温度的影响关系进行研究
【基金项目】
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国家自然科学基金(61474058)
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利用量子化学的密度泛函理论,对MOVPE生长A1N的气相反应路径进行理论计算和分析,特别针对氨基物DMA1NH2形成后的多聚反应、多聚物消去甲烷反应、以及温度的影响关系进行研究。通过对不同反应路径的吉布斯自由能和反应能垒的计算,分别从热力学和动力学上确定最可能的末端气相反应前体。研究发现,氨基物通过与NH3的双分子碰撞,很容易越过较低的能垒,形成稳定的A1(NH2)3。在385K<T<616K,三聚物(DMA1NH2)3消去CH4变成(MMA1NH)3的反应容易发生。在641K<r<
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