电子辐照NTD FZ Si等温退火特性

来源 :郑州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:getu0217
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本文报导了关于高阻 N 型区熔( F Z) N T D- Si- P+ N 结二极管经电子辐照后的等温退火特性,获得5 个缺陷能级: E1 = 0 .16e V, E2 = 0 .27e V, E3 = 0 .31e V, E4 = 0 .37e V 和 E5 = 0 .42e V.结果表明 E3 和 E4 有比其它3 个能极更好的热稳定性 This paper reports the isothermal annealing behavior of electron-irradiated (FZ) NT-D Si-P + N diodes in a high-resistance N-type region. Five defect levels are obtained: E1 = 16e V, E2 = 0. 27e V, E3 = 0. 31e V, E4 = 0. 37e V and E5 = 0. 42e V. The results show that E3 and E4 have better thermal stability than the other three
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