【摘 要】
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对包括温度、振动等精密、超精密研磨的环境支撑条件进行了实验与分析,指出精密研磨中研具、研磨剂选择应注意的事项,提出基于检测与研磨相互循环的大平面、长平面精密研磨方法
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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对包括温度、振动等精密、超精密研磨的环境支撑条件进行了实验与分析,指出精密研磨中研具、研磨剂选择应注意的事项,提出基于检测与研磨相互循环的大平面、长平面精密研磨方法,获得了稳定的000级1000mm×630mm×150mm大理石平板研磨水平。
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