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微型放电管中温金属化工艺的研究
微型放电管中温金属化工艺的研究
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zb_lion
【摘 要】
:
目前,国内微型放电管氧化铝陶瓷主要是机械、电气性能优异,热稳定性好、密封性能好的95%Al2O3瓷.其金属化温度一般在1480~1550 ℃,采用小型卧式氢气炉进行金属化,工艺受控状态
【作 者】
:
彭毅
吴涛
【机 构】
:
国营4404厂
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
微型放电管
中温金属化
工艺研究
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目前,国内微型放电管氧化铝陶瓷主要是机械、电气性能优异,热稳定性好、密封性能好的95%Al2O3瓷.其金属化温度一般在1480~1550 ℃,采用小型卧式氢气炉进行金属化,工艺受控状态差,不利于产业化生产.
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