论文部分内容阅读
介绍了微细加工中等离子体工艺对器件的损伤.主要有两种损伤模式:充电效应引起的损伤和辐射损伤.讨论了两种损伤模式的等离子体过程及损伤机制.
等离子体加工对器件损伤的两种模式
【摘 要】
：
介绍了微细加工中等离子体工艺对器件的损伤.主要有两种损伤模式:充电效应引起的损伤和辐射损伤.讨论了两种损伤模式的等离子体过程及损伤机制.
【机 构】
：
大连理工大学物理系半导体教研室,三束材料改性国家重点实验室
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2002年5期
其他文献
从社会因素与个人因素两大方面探讨了有效地消除高校图书馆员职业倦怠情绪的具体措施。
阐述了高校教学质量监控体系教学质量信息的内容、重要性，指出构建质量监控体系中教学质量信息系统管理的有效途径。
江泽民总书记在16大上指出,适应经济全球化和加入世贸组织的新形势,在更大范围、更广领域和更高层次上参与国际经济技术合作和竞争,充分利用国际国内两个市场。并指出,信息化
介绍一个12位的DAC设计.它将整个12位分成两部分,低4位采用权重式电流元形式,高8位采用矩阵式电流元形式.这种方法可以广泛应用于各种DAC的设计.
分析了高校图书馆规章制度、流通环节、阅览部和采编部存在的问题,并提出了相应的建议。
阐述了建立和谐校园的必要性，并从坚持科学发展观、实现“三个和谐”、奉行以人为本、完善规章制度等方面提出了构建和谐大学的具体思路。
据“中央社”报道，日本于2003年12月18日成功培养出外观和结构与埃博拉病毒十分相似、但毒性要弱的多的病毒。这种足以传染给人类细胞的埃博拉类似病毒是由东京大学教授河冈义
针对我国煤矿井下运输的现状,对ZK107型架线电机车的制动距离、牵引能力、运行速度进行了分析,在此基础上提出了解决ZK107架线电机车制动问题的有效方法。
随着改革的不断深入和社会主义市场经济的逐步完善，农机培训何去何从，如何适应现代农机化发展的要求，怎样才能发挥好农机培训的优势，已经成为摆在农机培训教育工作者面前的现实问