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简单介绍了光电器件几何参数,找到了一种测试工具-万能工具显微镜,探讨了用新工具测试几何参数的方法,有效解决了深度测量的难题.
一种光电器件几何参数测试方法
【摘 要】
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简单介绍了光电器件几何参数,找到了一种测试工具-万能工具显微镜,探讨了用新工具测试几何参数的方法,有效解决了深度测量的难题.
【机 构】
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东北电子技术研究所
【出 处】
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光电对抗与无源干扰
【发表日期】
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2003年1期
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