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PCM作为工艺过程监控手段,是半导体制造过程中的一个重要的监测工具。它主要是加工过程中的电参数测量,反映出产品在制作过程中的异常和一致性。本论文针对MEMS陀螺的生产过程,设计符合前道工艺线的PCM结构,然后运用SPC统计控制技术对数据进行分析,可以有效提高工艺能力,反映出产品质量。
PCM在MEMS陀螺工艺中的应用
【摘 要】
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PCM作为工艺过程监控手段,是半导体制造过程中的一个重要的监测工具。它主要是加工过程中的电参数测量,反映出产品在制作过程中的异常和一致性。本论文针对MEMS陀螺的生产过
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
：
数字技术与应用
【发表日期】
：
2020年4期
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