基于VO_x薄膜8元线列非致冷微测辐射热红外探测器的制备

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：littleycy

【摘要】

：

报道了应用反应离子束溅射以及后退火工艺在石英玻璃以及Si(10 0)衬底上淀积混合相 VOx 多晶薄膜,并且在石英衬底上制备了实验用 8元线列红外探测器。用扫描电镜(SEM)和X射线

【作者】

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陈长虹易新建程祖海张静黄光王宏臣

【机构】

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华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学光电工程系,华中科技大学光电工程系,华中科技大学教育部图像识别与人工智能重点实验

【出处】

：

中国激光

【发表日期】

：

2001年12期

【关键词】

：

非致冷微测辐射热探测器红外探测器氧化钒

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报道了应用反应离子束溅射以及后退火工艺在石英玻璃以及Si(10 0)衬底上淀积混合相 VOx 多晶薄膜,并且在石英衬底上制备了实验用 8元线列红外探测器。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分别测试结果显示薄膜为表面光滑、致密且具有针状晶粒的混合相多晶结构,探测器的性能测试结果显示该探测器可以实现 8～ 12μm的非致冷室温红外探测

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