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从OFC 2003看平面光波导器件的发展动向
从OFC 2003看平面光波导器件的发展动向
来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:delphizhao
【摘 要】
:
概述了2003年OFC会议上报道的平面光波导器件,着重介绍了平面光波导器件在新材料、新工艺、新结构方面的新进展和发展方向.
【作 者】
:
严清峰
余金中
陈少武
【机 构】
:
中科院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
【出 处】
:
光电子·激光
【发表日期】
:
2003年10期
【关键词】
:
平面光波导器件
平面光波导集成回路
OFC2003
材料
飞秒激光直写
极化诱导直写
发展方向
planar lightwave circuit(PLC) op
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概述了2003年OFC会议上报道的平面光波导器件,着重介绍了平面光波导器件在新材料、新工艺、新结构方面的新进展和发展方向.
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