模具钢微细蚀刻速率的研究

来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sophia_hou
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
目的研究模具钢微细蚀刻中,蚀刻速率的变化规律。方法采用蚀刻液喷淋加工方式,对掩膜的模具钢表面进行蚀刻.考察掩膜间隙、蚀刻液啧淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响。结果蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加,当掩膜尺寸大于150μm时,蚀刻速率增长较快;较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除,使得蚀刻反应充分,蚀刻速率较高;温度在一定范围内升高,蚀刻液活性增大,蚀刻效率提高,蚀刻速率增大。结论最佳工艺条件为:掩膜间隙尺寸150~200μm,蚀刻液喷淋压力1.0~1.4MPa.蚀刻液温度35~40℃。在此
其他文献
分析人士认为,两个会议充分彰显了江苏作为经济和外资大省坚定不移扩大对外开放、不断增创改革开放新优势的决心和信心。2020年元旦后,两个关系到外向型经济转型的重要会议在
火炮零位零线在野外环境下检测时常受地点、地形和气象等因素的影响,致使火炮零位零线检测困难.通过利用角度传感器技术,并结合火炮自身特性,研制了炮兵用零位零线检测仪,该
针对目前火炮内膛检测存在的问题,结合计算机图像拼接技术,设计并实现了一种高精度、高可靠性、智能化的身管内膛疵病检测系统,主要由内膛观测硬件系统和图像拼接分析软件系
丹江口水库作为南水北调中线工程的水源地,地质灾害防治十分重要。通过对丹江口库区地质灾害现场调查和分析,确定了库区地质灾害发育的主要类型为塌岸和滑坡。从地形地貌、地
基于平稳随机序列受自相关函数约束的特点,研究了对随机信号中奇异值或缺失值进行补值的方法.利用平稳随机序列的一步变化率与自相关函数变化率之间的关系,得到一种基于一步相关