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在分析体声波滤波器的原理、结构及相关参数的基础上，结合锆钛酸铅薄膜的材料特性，提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响，模拟了不同连接方法下滤波器的频率特性，探讨了薄膜材料的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化。
采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计
【摘 要】
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在分析体声波滤波器的原理、结构及相关参数的基础上，结合锆钛酸铅薄膜的材料特性，提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响，模拟了
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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