大台面电力半导体器件玻璃钝化技术研究

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本文就大台面高电压、大电流晶闸管玻璃钝化,从理论和实践上闸述了钝化机理,系统介绍了台面造型、玻璃涂复、熔烧等工艺途径,并给出了研究结果。 In this paper, large table high-voltage, high-current thyristor glass passivation, in theory and practice to describe the passivation mechanism, the system introduced mesa modeling, glass coating, melting process, and gives the results.
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