【摘 要】
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为了研究激光光源对极紫外（EUV）等离子体碎屑的影响,采用脉冲Nd∶YAG激光与CO2激光激发Sn产生等离子体,基于直接成像法,研究了等离子体羽辉在低气压中的膨胀特性。通过确定等离
【机 构】
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华中科技大学武汉光电国家实验室,华中科技大学光学与电子信息学院
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为了研究激光光源对极紫外（EUV）等离子体碎屑的影响,采用脉冲Nd∶YAG激光与CO2激光激发Sn产生等离子体,基于直接成像法,研究了等离子体羽辉在低气压中的膨胀特性。通过确定等离子体边界,计算出各个角度的等离子体羽辉膨胀边界随时间的变化规律,以及运动动能随运动路径的变化规律。结果表明,气压为10Pa时,在相同激光能量密度（2.5×106m J/cm2）的条件下,CO2脉冲激光作用锡靶产生EUV的等离子体动能小于Nd∶YAG脉冲激光作用锡靶产生的等离子体动能;在减缓离子碎屑的研究中,CO2脉冲激
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