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利用直流磁控溅射法,在相同实验条件下成功沉积出了钛掺杂氧化锌（TZO）透明导电薄膜和钛铝共掺杂氧化锌（TAZO）透明导电薄膜,并对两种薄膜的结构、应力和光电性能进行了对比研究。结果表明：两种薄膜均为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构多晶薄膜;TAZO薄膜的导电性能优于TZO薄膜,100 W溅射功率下制备的TZO薄膜的电阻率具有其最小值5.17×10^-4Ω·cm,而相同功率下TAZO薄膜的电阻率为3.88×10^-4Ω·cm;同时TAZO薄膜的光学性能也优于TZO薄膜