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图像分割是数字图象处理中的一个重要问题;基于阈值选取方法的半导体器件的图象分割,具有较高的运算效率;文中针对常见阈值选取方法的具体使用情况进行了比较研究,并提出了具体算法实现,最后提出最佳的处理算法;实验结果表明该算法能够有效提高图象分割的质量,从而提高了半导体器件检测的正确率和自动化程度。