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期刊论文
碳剥离膜结构的研究
碳剥离膜结构的研究
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:julian
【摘 要】
:
碳剥离膜可用交流电弧法或直流电弧法来制备,也可用交直流电弧来做多层膜。不同制备方法的碳剥离膜有不同的寿命,表明不同制备方法的碳膜有着不同的微观结构。本文对不同制备方
【作 者】
:
张宏斌
卢子伟
徐瑚珊
肖国青
李占奎
【机 构】
:
中国科学院近代物理研究所
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
2008年9期
【关键词】
:
碳剥离膜
SEM/TEM
交流/直流电弧法
Carbon stripping foil
SEM/TEM
AC/DC arc discharge method
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碳剥离膜可用交流电弧法或直流电弧法来制备,也可用交直流电弧来做多层膜。不同制备方法的碳剥离膜有不同的寿命,表明不同制备方法的碳膜有着不同的微观结构。本文对不同制备方法的碳剥离膜的微观结构做了SEM/TEM照片测试,分析了碳剥离膜结构对碳剥离膜寿命的影响。
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